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荏原制作所，離心泵理論的奠基者，創立于1912年（原名為井口式機械事務所），1920年更名為荏原制作所。經過近百年發展，荏原已在建立了101家子公司和18家參股公司，共有雇員近20000人，躋身于世界機械制造業500強，成為規模大的泵類產品制造企業之一，年銷售額達45億多美金，其中泵類產品年銷售額超過22億美金，位居世界泵類銷量前2名。 日本荏原EBARA干式真空泵EST100WN EST200WN

荏原制作所在日本設有三家大型工廠：富津工廠（為了強化世界范圍內的供貨體制，將羽田工廠搬遷至富津工廠。富津工廠作為荏原泵制造據點母工廠，2010年開始運轉）藤澤工廠（建于1965年，主要生產通用泵、制冷機、半導體和產用機器裝置，是荏原制作所大的生產基地），袖浦工廠（主要生產壓縮機、氣輪機、燃氣輪機和高速旋轉機械）。 
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荏原的網絡遍及。在海外有60家子公司，其中泵制造公司有15家，縮短了產品供貨周期，快捷高效地服務于客戶。1988年在意大利Brendola成立的荏原泵業（歐洲）有限公司，于1992年在意大利Trento省的Cles建立了工廠，成為歐洲大的不銹鋼泵生產廠家。

荏原泵產品憑借其專業的技術和超高的產品質量獲得世界各地*好評,被譽為“泵的巨人”。



干式真空泵在使用過程中常見故障：
1、泵卡死不能運轉
2、真空度降低
3、起動困難
4、真空度抽不上去或抽上去穩不住
5、噪音大
69、電機發熱

干式真空泵行業應用：
1. 分析儀器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表面分析儀; 4. 檢漏儀; 5. 質譜儀; 6. 光譜儀; 7. R&D; 8. 離子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實驗室; 11. 工業; 12. 燈泡生產; 13. 真空鍍膜; 14. 深冷泵再生; 15. 電離清潔; 16. 干燥; 17. 上料預抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊應用; 19. 已有的特殊版本; 20. He閉環回圈; 84. 超高真空系統分子泵背泵

為了滿足全國各地區真空客戶維修難、維修費用高等問題，蘇州高真空維修中心成立維修保養服務工廠,擁有專業的技術工程師，維修工程師都得到原廠的正規培訓，*有實力提供干泵的維修、保養服務。

昆山熙日目前主要維修的品牌：德國Pfeiffer普發干式真空泵,英國Edwards愛德華小型濕/干泵,日本ULVAC愛發科干式真空泵,法國Alcatel阿爾卡特干泵,美國Agilent安捷倫干式渦輪泵,德國Leybold萊寶干泵,日本EBARA荏原干泵,德國BUSCH普旭干泵,德國BECKER貝克干泵,美國WELCH韋爾奇干式WOB-L活塞泵,美國GAST嘉士達干泵,德國Rietschle里其樂干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA巖田無油渦旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。

Model EST系列

螺旋式真空泵 抽氣速度：2,500-50,000L/min 適用于生成物較多的重制程 Model EST系列是新研發的*干式真空泵，采用了螺旋式轉子，適用于生成物較多的CVD制程。 具有高附加價值：容許流入氣體量大，耐腐蝕性，可調節排氣速度，高通信處理功能，適應了 電力功耗低的工藝要求。

特點:
● 較適用于生成物較多的制程
● 具備高性能通信功能
● 排氣速度快，容許流入氣體量大
● 采用高度控制泵運轉方式
● 轉速自動調節功能
● 不產生真空泵大型化所引起的搬運性能降 低的問題
● 可對應腐蝕性氣體

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。